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激光干涉儀在數控機床調試驗收中的應用
點擊次數：1425 更新時間：2022-09-22 返回
新機床到廠安裝后，因運輸過程中的顛簸及環境溫度差異等原因，會造成機床位置精度變化，產生新的定位誤差。因此新機床經安裝調試后須使用激光干涉儀對其位置精度進行檢測評定，必要時進行螺距誤差補償，以修正誤差值，達到機床驗收標準，保證機床加工精度要求。
干涉儀所用激光的波長為633nm，且其長期波長穩定性（在真空中）高于0.05ppm，是可對數控備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的儀器。
以新進設備數控緩磨為例，其控制系統為SIEMENS840DSL，被測軸以X軸為例，檢測目的是驗收檢測，檢測項目為位置精度檢測。
1、機床開機回零后，運行熱機程序預熱15min。
2、將激光干涉儀按布置連線圖進行安裝連接，開啟XL-80激光電源，預熱約5min。
3、使用光靶快速準直光束。沿運動軸方向將工作臺推離激光頭，直到光束開始移開光靶。當只有一半的光束擊中白點時停止移動機床。
4、編制測量運行程序。設置機床工件坐標系G59：X0Y0Z0，使之與機床機械坐標系一致；依據機床X軸實際測量參數。
5、設置激光干涉儀線性測長軟件。進入測量向導，依次完成目標設定、采集數據啟動、標題信息、自動采集數據設定4個窗口的設置。其中在自動采集數據設定中的公差窗口及越程量大小設置，依據以往經驗，設定為機床實際越程的1/2，即公差窗口：0.5mm，越程量大?。?.5mm。如兩參數大于等于實際越程值，可能造成軟件采集錯誤數據或無法采集。
完成上述設置后，進入測量界面，先試運行機床，判斷數據方向，由于起點不為零，需先使用將數據手動定義到起點100，啟動機床檢測程序，進行自動采集數據。
