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美國API激光干涉儀信息
點擊次數:200 更新時間:2025-08-18 打印本頁面 返回

一、核心組成與測量原理

主要部件:由穩頻激光器、干涉鏡和 6D 傳感器構成,整體體積小、重量輕,可直接安裝在機床導軌上,適配性較強。

測量邏輯:激光光束經干涉后,被 6D 傳感器內的分光鏡分成三束。其中一束經角反射棱鏡反射后,與參考光束干涉產生條紋,通過光學相位探測器識別并電子計數,實現長度位置的精準記錄;另一部分光作為直線度測量的參考,結合傳感器與參考光束的相對關系完成相關參數測量。

二、穩定性保障設計

結構與激光器優化

從結構設計到激光器選擇均經過周密考量,目的是將橫向和角度漂移量降至低,從而確保測量儀的長期穩定性,減少因設備自身漂移導致的誤差。

環境補償機制

配備自動氣壓、環境溫度補償器,可實時校正環境變化(如溫度、氣壓波動)對激光波長及長度測量的影響,避免環境因素干擾測量精度。

抗干擾濾波

專用的多重數字濾波器能有效降低空氣波動、溫度梯度等外界因素引起的測量誤差,進一步提升數據的可靠性。


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